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本發明涉及一種利用廢棄的碳化硅細粉進行碳化硅晶體加工工藝,包括在碳化硅反應爐內加入石英砂與焦炭的步驟以及在碳化硅冶煉前在碳化硅反應爐內加入由廢棄碳化硅細粉制備。
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[摘要]一種碳化硅介孔材料是孔徑分布在3-50nm范圍內,比表面為60-120m2/g(BET),形態為粉末狀β晶型介孔碳化硅。其制備方法采用將酚醛樹脂溶于無水乙醇或者*。
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